Foundations of Semiconductor Support Facilities

半导体支持设施基础 本课程为期4小时，旨在深入探讨SubFAB（半导体支持设施）的基础知识及其在半导体制造中的重要性。课程内容涵盖SubFAB的演变、发展趋势、核心系统、设施布局，并评估其对环境和可持续发展的影响。